Assignee
- Electrovac, Fabrikation Elektrotechnischer Spezialartikel Gesellschraft M.B.H.
- Ims-Ionen Mikrofabrikationas Systeme
Inventors
- Xinhe Tang (11 patents)
- Klaus Mauthner (6 patents)
- Ernst Hammel (16 patents)
- Hans Loschner (25 patents)
- Elmar Platzgummer (51 patents)
- Gerhard Stengl (37 patents)