Assignee
- L'Air Liquide, Societe Anonyme Pour L'Etude Et L'Exploitation Des Procedes Georges Claude
- Tokyo Electron Limited
Inventors
- Shuji Moriya (39 patents)
- Atsushi Ando (74 patents)
- Jun Sonobe (7 patents)
- Christopher Turpin (1 patents)
US Patent 9012331 · Granted Apr 21, 2015