Assignee
- Tokyo Electron Limited
- L'Air Liquide, Societe Anonyme Pour L'Etude Et L'Exploitation Des Procedes Georges Claude
Inventors
- Yasunori Kumagai (7 patents)
- Kohei Tarutani (9 patents)
- Takashi Kameoka (10 patents)
- Tomoko Yanagita (2 patents)
- Ryohei Matsui (9 patents)