Pulsed magnetron sputtering deposition with preionization

Assignee

• CNRS
• Université Paris-Sud

Inventors

• Mihai Ganciu-Petcu (2 patents)
• Michel Hecq (1 patents)
• Jean-Pierre Dauchot (1 patents)
• Stephanos Konstantinidis (1 patents)
• Jean Bretagne (1 patents)
• Ludovic De Poucques (1 patents)
• Michel Touzeau (1 patents)

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