Silicon-on-insulator with crystalline silicon oxide

Assignee

• Turun Yliopisto

Inventors

• Pekka Laukkanen (13 patents)
• Mikhail Kuzmin (5 patents)
• Jaakko Mäkelä (6 patents)
• Marjukka Tuominen (7 patents)
• Marko Punkkinen (7 patents)
• Antti Lahti (2 patents)
• Kalevi Kokko (4 patents)
• Juha-Pekka Lehtiö (3 patents)

View full patent text on Google Patents →